特性优点
极低的金属离子和有机物析出
特别适合于光刻工艺过滤
18MΩ超纯水清洗
100%出厂前完整性检测
规格参数
材料结构
型号：EUPE
滤材：UPE
端盖/中心杆/外壳：HDPE
工作特性
最高使用温度：100℃
最高工作压差：0.50MPa/21℃ 0.24MPa/80℃
滤芯选型
| 系列号 | 过滤精度 | 长度 | 接口 | 密封圈/垫片 |
| EUPE | 003 = 0.03 μm | 5 = 5 inch | C3 = 222+平头 | V = 氟橡胶 |
| 005 = 0.05 μm | 10 = 10 inch | C8 = 222+尖头 | E = 三元乙丙 | |
| 007 = 0.07 μm | 20 = 20 inch | C2 = 226+平头 | T = 包氟 | |
| 01 = 0.1 μm | 30 = 30 inch | C7 = 226+尖头 | ||
| 022 = 0.22 μm | 40 = 40 inch | |||
| 045 = 0.45 μm | ||||
| 1 = 1 μm |
